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製品一覧

ESCA/高感度光電子分光装置

高感度半球アナライザーを備えた、ラボ用の光電子分光装置です。

ミューメタル製表面分析室の他にプリパレーション室、ロードロック室の３室構造で、分析室には標準でツインアノードX線源を標準装備している他に、モノクロX線源ポート、トロイダルミラー付真空紫外光源用ポート、イオン銃ポートなどが準備されておりますので、簡単に高感度角度分解分析にバージョンアップ可能です。
排気系も、紫外光源やイオン銃を使用した時にも極力良い真空度が保たれるようポンプを構成しておりますので、幅広い測定目的に対応可能です。
プリパレーション室にはエバポレーターやクリーニングイオン銃、触媒反応部などを設置可能ですので、試料作成から測定まで、速やかな実行が可能です。

クラスター生成分離システム

クラスターソースにより生成されたクラスターイオンを、高感度イオン分離ユニットで特定のサイズのクラスターのみ分離して、基板に堆積させるシステムです。

生成分離されたクラスターイオンは、中性粒子を排除して、正イオン、負イオンの選択サンプリングが可能です。システムは非常にコンパクトに設計され、生成分離したクラスターイオンを最高で超高真空領域までサンプリングすることが可能です。

パワーデバイス用プローバシステム(アクシス・ネット㈱製)

パワーデバイスの特性測定や高絶縁材料の特性評価に最適なシステムです。

最大6インチφのデバイスに最高30kvを印加しI-V特性を測定します。100pAレベル(代表値)の電流測定が可能になります。
また、カーブトレーサでは測定できないパワーデバイスの特性評価(ブレークダウン測定)がnA以下の精度で測定可能です。

分光感度・量子効率測定装置(アクシス・ネット㈱扱い)

EnlitechのQE-Rは、IEC標準やASTM標準に準拠して開発され、各一次測定機関の測定手順を参照して太陽電池の分光感度/量子効率を求めることができます。

70％を超える高い集光効率のシステムにより、正確で安定した測定が行えるとともに、独自の2台のDSPデュアルフェーズ・ロックインアプリにより、光学照度とデバイス信号の測定を同時に行い、高速測定(90秒＠300～1100mm)と高い再現性(99.5％以上)を実現しました。
結晶シリコン、多結晶シリコン、アルモファスシリコン、薄膜多接合、CIGS、CdTe、有機、色素増減型などあらゆる種類の太陽電池セルに対応します。

高分解能ガス成分分析システム

低真空領域のガスをサンプリングし、高分解能質量分析ユニットで詳細な質量分析を行うためのユニットです。

サンプリングされたガス状試料は、標準の電子衝撃イオン化法のほかレーザーなどの導入も可能とし、フラグメンテーションも考慮した分析が可能です。

小型UHV実験ステーション

本装置は、設置面積がコンパクトで、身近な場所で本格的な超高真空までの実験を行うためのものです。

最大の特徴は、チェンバー周りに最大限のオープンスペースが生まれるようにデザインされている為、チェンバーのポート利用が非常に容易であり、かつ、架台ベースの専有面積は標準で700mm×700mm(取り付けたコンポーネントのはみ出し分は含みません)と非常にコンパクトです。
基本型の場合、メインチェンバー/予備チェンバー間の試料受け渡しは、わずか400mmストロークで実行可能です。

真空保管容器

ドライポンプと真空計を備えた、大型の真空保管容器です。

作業性を考慮して、ふたの部分はアルミ製フランジとし、全体の高さもテーブル程度の高さとすることで、保管作業にかかる負担を軽減できるよう設計されています。
その他、ふたの部分を工夫することにより、低真空のマニホールドとして使用することも可能です。

マルチポートドライ排気セット

TMP+ドライポンプによる、小型の真空排気セットです。

最大4つの独立したバルブにより、任意の接続箇所の排気が可能です。
また、大きなマニホールドを備えることにより、排気バッファーとしての排気能力の安定を図っています。
さらに、マニホールドには真空計を備えておりますので、ポンプの動作状況のモニターも可能です。

その他

MBEやスパッタ装置、抵抗加熱蒸着装置など、薄膜作製装置のご提案も行っていきます。
詳しくは弊社までご連絡ください。

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