株式会社エキップは真空技術に加え光学・計測・分析関連の研究サポートを行います。

サービス

各種実験装置の改造、増設、移設、ガスライン設置、特殊部品の製作／追加工など対応いたします。

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製品一覧

SYSTEMS

簡単な真空排気セットだけではなく、薄膜作製から表面分析、気体分析、クラスター関連、電気特性測定、光学・低温機器などの様々な装置をご提案いたします。

国内外のユニークなコンポーネントや自社コンポーネントにより、さまざなシステムを顧客様と一体となって設計から完成までお手伝いいたします。
また、自社のみならず国内外の各種専門メーカーによるシステムのご提案も行うことにより、専門性の高い使用目的に最適化したシステムをご提供いたします。

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SUBSTRATE MANIPULATION

EB,輻射加熱、通電加熱。ランプ加熱などの様々な加熱方式や、LN2/LHeやクライオスタットなどを使用した冷却まで、サンプルの温度コントロールはもちろん、バイヨネットタイプや差し込み式など様々な形状ホルダーに対応いたします。

また、ARPESやPEEMなどの磁場・電場に対して敏感な測定に使用可能なサンプルホルダーや、電気測定のための局所フローリングなど、またはIRASなどの光学測定にも対応した形状も含め、目的に会ったホルダー/ホルダーステージをご提供いたします。

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SUBSTRATE　MANIPULATION

超高真空対応のマニピュレーター、マグネットフィードスルー、ロータリーステージ、ウォーブルスティックなどのコンポーネントのご提供から、様々な環境下/条件でのサンプル導入/受け渡しのご提案まで、幅広く対応いたします。

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CHAMBERS/PARTS

目的に合わせ、SUS304やSUS316Lはもちろん、ミューメタル製の真空チェンバーまで設計・製作いたします。

安価な高真空用チェンバーから、表面処理やポート角度などを考慮した大小さまざまなチェンバーをご提供いたします。

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COMPONENTS

真空計・バルブ・ポンプ・電流導入端子・フランジ・継ぎ手などの基本的な真空コンポーネントやガラス機器、各種蒸発源・電子線源・イオン源・紫外光源・X線源など、また汎用型/高感度高分解能質量分析機器・半球アナライザー・LEED・分光光度計・電流計測機器などの研究開発用各機器をご提供いたします。

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