見出しSUBSTRATE　MANIPULATION

製品一覧

XYZ3軸マニピュレーター

汎用型のXYZ3軸マニピュレーターのほか、XY+Z型の高精度使用目的のマニピュレーターなど、国内外からご紹介いたします。

高精度ロータリーステージ(真空光学製)

真空内において高い位置再現性、高い剛製とともに超高精度な回転制御を可能とする高性能中空型ロータリーステージです。
高精度絶対角度位置決め用エンコーダを組込むことにより、超高精度な絶対角度位置決め制御を実現しました。

高精度以外にも、汎用型ロータリーステージもご用意いたします。

マグネットフィードスルー

小ストロークからロングストロークまで、高精度な伸縮可能な回転/直進タイプのマグネットフィードスルーです。
使用目的に合わせ、最適な仕様のマグネットフィードスルーをご用意いたします。
先端部分の形状は、様々な仕様に対応いたします。

ラック＆ピニオンフィードスルー（MECA2000製)

高精度で操作性に定評のあるフランス・MECA2000社製ラック＆ピニオンフィードスルーです。
製品の提供以外に、すでにお使いいただいているラック＆ピニオンフィードスルーのメンテナンスも行っておりますので、お気軽にお問い合わせください。

ウォーブルスティック

様々な仕様のサンプルホルダー、受け渡し方式に対応いたします。

試料交換ハッチ

高真空対応の試料導入ハッチです。

大口径のビューポート付のタイプやブランクハッチタイプ、その他ハンドル付軽量フランジタイプなどをご用意しております。

その他

熱コンタクトや絶縁、微小電流測定用コンタクトなど、使用する材料や構造まで綿密な打ち合わせにより最適なシステム構築のお手伝いをいたします。

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